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中圖儀器3d光學輪廓儀檢測儀SuperViewW1以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量。
SuperViewW1白光干涉3D輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等.
SuperViewW1光學3D表面輪廓檢測儀是以白光干涉技術為原理的白光干涉儀,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測,具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數涵蓋面廣的優點?;诎坠飧缮嬖?,不僅用于零件的檢測,還是一種在生產中用于檢測軋制產品表面缺陷的設備,能完成缺陷尺寸的在線檢測。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車
中圖儀器光學輪廓儀分辨率0.1μm,重復性0.1%,應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中,可以說只有3d非接觸式光學輪廓儀才能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。
SuperViewW1輪廓粗糙度光學測量儀以白光干涉技術為原理,能夠以優于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。
SuperViewW1輪廓度光學測量儀是以白光干涉技術為原理,能以亞納米級精度測量從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。
中圖儀器3D輪廓光學測量儀測量大尺寸樣品時支持拼接功能,將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。
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