SuperViewW1白光光學輪廓度測量儀對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

中圖儀器3d光學輪廓儀檢測儀SuperViewW1以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1白光輪廓儀集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量?？蓪Ω鞣N產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1白光干涉儀檢測設備以白光干涉技術為原理，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

SuperViewW1白光干涉3D輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等.

SuperViewW1光學3D輪廓測量儀是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級測量的檢測儀器。只需要操作者裝好被測工件，在軟件里設好視場參數，把物鏡調節到被測工件表面，選擇自動聚焦后，儀器就會主動找干涉條紋開始掃描測量。然后自動生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質量的2D、3D參數，完成工件表面形貌一鍵測量。

SuperViewW1光學3D表面輪廓檢測儀是以白光干涉技術為原理的白光干涉儀，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測，具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數涵蓋面廣的優點?；诎坠飧缮嬖?，不僅用于零件的檢測，還是一種在生產中用于檢測軋制產品表面缺陷的設備，能完成缺陷尺寸的在線檢測。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車